2.特氣管道驗(yàn)收檢測(cè)(管道五項(xiàng)檢測(cè)):半導(dǎo)體制造中常使用多種特種氣體,如硅烷、磷烷等,這些氣體易燃易爆且部分具有劇毒。特氣管道的安全運(yùn)行至關(guān)重要。第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)通過保壓測(cè)試確保管道無泄漏,氦檢漏準(zhǔn)確定位微小漏點(diǎn),0.1 微米顆粒度檢測(cè)防止顆粒污染氣體,對(duì)氧含量(ppb 級(jí))和水分(ppb 級(jí))嚴(yán)格把控,避免氣體雜質(zhì)影響生產(chǎn)工藝與產(chǎn)品質(zhì)量,保障生產(chǎn)過程安全、穩(wěn)定。